X,Y轴：扫描范围 30μm;
闭环噪音<60pm
Z轴：扫描范围 5μm;
闭环噪音<50pm（Adev,0.1Hz-1kHz）
AFM系统高度噪音< 15pm

该系统搭载传统的OBD光杠杆检测和最新一代相位差分干涉测量系统QPDI，这项独特的专利创新使Vero 提供更高精度的 AFM 结果，精度和可重复性。Vero ES是能够将原子级成像变成常规操作的AFM；其具有超快的扫描速度，可在1s之内完成一次扫描； 具有最为精确的密闭式样品腔，能够非常简单的控制样品的气相或者液相的环境。支持所有主流AFM/SPM模式。

标准光源模块，电化学池，材料加热台，BlueDrive光热激发模块等