分辨率： ≤0.9 nm @15 kV，≤1.3 nm @1kV
放大倍数：2-2,000,000×
加速电压：0.05-30 kV
最大束流强度400 nA，连续可调
电子发射源：肖特基型热场发射电子源

扫描电镜SEM：场发射扫描电镜Tescan CLARA具有较高分辦率（0.9 nm@15kV），能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理，广泛用于金属材料、高分子材料、地质矿物、生物学等。本台电镜不仅在低电压下拥有极佳的分辨率（1.3 nm@1kV），而且能够通过选择二次电子和背散射电子的不同衬度，来探索样品可能包含的大量信息。
能谱EDS：可进行样品表面的元素分析；
电子背散射衍射附件EBSD：可进行样品表面的成分分析和晶体学分析。

牛津EDS和EBSD